Diplomová práce je zaměřena na fyzikální a chemické depozice tenkých vrstev. Jsou popsány organokovové sloučeniny a organokovové chalkogenidy jako možné single source prekurzory.
V experimentální části byly připraveny intramolekulárně koordinované sloučeniny organogallitých
chalkogenidů a jejich roztoky byly deponovány spin coatingem. Vzniklé tenké vrstvy byly popsány a charakterizovány.
Anotace v angličtině
This thesis is focused on the physical and chemical way of deposition of thin films. Organometallic compounds and organometallic chalcogenides as possible single source precursors are described.
In the experimental part the intramolecularly coordinated compounds of organogallium chalcogenides were prepared. Their solutions were deposited by spin coating and than those thin films were described and characterized.
Klíčová slova
organokovy, chalkogenidy, III-VI materiály, single source prekurzor, spin coating,
tenké vrstvy
Klíčová slova v angličtině
organometallics, chalcogenide, III-VI materials, single source precursor, spin coating,
thin films
Rozsah průvodní práce
-
Jazyk
CZ
Anotace
Diplomová práce je zaměřena na fyzikální a chemické depozice tenkých vrstev. Jsou popsány organokovové sloučeniny a organokovové chalkogenidy jako možné single source prekurzory.
V experimentální části byly připraveny intramolekulárně koordinované sloučeniny organogallitých
chalkogenidů a jejich roztoky byly deponovány spin coatingem. Vzniklé tenké vrstvy byly popsány a charakterizovány.
Anotace v angličtině
This thesis is focused on the physical and chemical way of deposition of thin films. Organometallic compounds and organometallic chalcogenides as possible single source precursors are described.
In the experimental part the intramolecularly coordinated compounds of organogallium chalcogenides were prepared. Their solutions were deposited by spin coating and than those thin films were described and characterized.
Klíčová slova
organokovy, chalkogenidy, III-VI materiály, single source prekurzor, spin coating,
tenké vrstvy
Klíčová slova v angličtině
organometallics, chalcogenide, III-VI materials, single source precursor, spin coating,
thin films
Zásady pro vypracování
1. Literární rešerše zaměřená na depoziční techniky pro přípravu tenkých vrstev
2. Literární rešerše zaměřená na využití organokovových chalkogenidů jako single source prekursorů
3. Syntéza a vlastní depozice vybraných sloučenin
4. Charakterizace vzniklých vrstev mikroskopií atomárních sil
Zásady pro vypracování
1. Literární rešerše zaměřená na depoziční techniky pro přípravu tenkých vrstev
2. Literární rešerše zaměřená na využití organokovových chalkogenidů jako single source prekursorů
3. Syntéza a vlastní depozice vybraných sloučenin
4. Charakterizace vzniklých vrstev mikroskopií atomárních sil
Seznam doporučené literatury
-
Seznam doporučené literatury
-
Přílohy volně vložené
-
Přílohy vázané v práci
-
Převzato z knihovny
Ne
Plný text práce
Přílohy
Posudek(y) oponenta
Hodnocení vedoucího
Záznam průběhu obhajoby
doc. Ing. Petr Němec, Ph.D.: Je možné srovnat vlastnosti získaných vrstev s literaturou?
ing. Jan Vališ, Ph.D.: K čemu se vaužívají vámi připravované vrstvy?
doc. Ing. Michal Veselý, CSc.: V elipsometrii jsou naměřené nebo fitované křivky? Drsnost povrchu je vypočítána? Odpovídá hodnotě Ra nebo Rz?
ing. Tomáš Syrový, Ph.D.: Za jakých podmínek probíhal termický rozklad? Tloušťka vrstev nebyla stanovována jinak než elipsometrií?