Tato bakalářská práce se zabývá přípravou a studiem vlastností tenkých vrstev chalkogenidového skla o složení As50Se50. Příprava vrstev proběhla metodou vakuového napařování. V této práci je studován vliv temperace a expozice tenkých vrstev halogenovou lampou na strukturu, optické vlastnosti a chemickou odolnost. Dále je studován vliv expozice elektronovým svazkem na chemickou odolnost tenkých vrstev a možnost zápisu struktur do vrstev pomocí elektronové litografie.
Anotace v angličtině
This bachelor thesis deals with deposition of thin layers of As50Se50 chalcogenide glass. The thin layer deposition was done using a method of vacuum thermal evaporation. Prepared thin layers were then used to study the impact of annealing and exposure to halogen lamp on its structure, optical properties, and chemical resistance. Furthermore, the thin layers were exposed to electron beam to test the changes in its chemical resistance and to explore the possibilities of recording structure into the layers employing electron lithography.
Klíčová slova
chalkogenidová skla, vakuové napařování, tenké vrstvy, systém As-Se
Klíčová slova v angličtině
chalcogenide glass, vacuum evaporation, thin layers, system As-Se
Rozsah průvodní práce
-
Jazyk
CZ
Anotace
Tato bakalářská práce se zabývá přípravou a studiem vlastností tenkých vrstev chalkogenidového skla o složení As50Se50. Příprava vrstev proběhla metodou vakuového napařování. V této práci je studován vliv temperace a expozice tenkých vrstev halogenovou lampou na strukturu, optické vlastnosti a chemickou odolnost. Dále je studován vliv expozice elektronovým svazkem na chemickou odolnost tenkých vrstev a možnost zápisu struktur do vrstev pomocí elektronové litografie.
Anotace v angličtině
This bachelor thesis deals with deposition of thin layers of As50Se50 chalcogenide glass. The thin layer deposition was done using a method of vacuum thermal evaporation. Prepared thin layers were then used to study the impact of annealing and exposure to halogen lamp on its structure, optical properties, and chemical resistance. Furthermore, the thin layers were exposed to electron beam to test the changes in its chemical resistance and to explore the possibilities of recording structure into the layers employing electron lithography.
Klíčová slova
chalkogenidová skla, vakuové napařování, tenké vrstvy, systém As-Se
Klíčová slova v angličtině
chalcogenide glass, vacuum evaporation, thin layers, system As-Se
Zásady pro vypracování
1. Nastudujte syntézu chalkogenidových skel a metody přípravy jejich tenkých vrstev.
2. Proveďte syntézu chalkogenidového skla o složení As50Se50 a následně připravte tenké vrstvy metodou vakuového napařování.
3. Studujte změny optických vlastností, chemické odolnosti a struktury tenkých vrstev vyvolané temperací a expozicí polychromatickým zářením.
4. Prověřte vliv expozice elektronovým svazkem na chemickou odolnost připravených tenkých vrstev.
5. Výsledky zhodnoťte a diskutujte.
Zásady pro vypracování
1. Nastudujte syntézu chalkogenidových skel a metody přípravy jejich tenkých vrstev.
2. Proveďte syntézu chalkogenidového skla o složení As50Se50 a následně připravte tenké vrstvy metodou vakuového napařování.
3. Studujte změny optických vlastností, chemické odolnosti a struktury tenkých vrstev vyvolané temperací a expozicí polychromatickým zářením.
4. Prověřte vliv expozice elektronovým svazkem na chemickou odolnost připravených tenkých vrstev.
5. Výsledky zhodnoťte a diskutujte.
Seznam doporučené literatury
Podle pokynů vedoucího práce.
Seznam doporučené literatury
Podle pokynů vedoucího práce.
Přílohy volně vložené
-
Přílohy vázané v práci
-
Převzato z knihovny
Ne
Plný text práce
Přílohy
Odůvodnění nezveřejnění VŠKP
Posudek(y) oponenta
Hodnocení vedoucího
Záznam průběhu obhajoby
Posluchačka seznámila komisi se svojí bakalářskou prací.
Dále reagovala na připomínky a zodpověděla otázky členů komise:
Diskutujte rychlost rozpouštění.
Lze měnit expoziční podmínky?
Diskutujte zvolené rozpouštědlo použité při studiu chemické odolnosti.