Práce se zabývá studiem tenkých amorfních vrstev ternárních systémů Ge-Sb-Se a Ga-Sb-Se připravených technikou magnetronového naprašování za simultánního použití několika terčů, pro jejich potenciální aplikace v nelineární optice. Je diskutována obecná kvalita ve smyslu morfologie a topografie, lineární a nelineární optické vlastnosti a struktura připravených vrstev v závislosti na složení. Omezení těchto materiálů může spočívat v jejich citlivosti na světlo blízké energii jejich optické šířce zakázaného pásu energií. Byl proto studován i tento aspekt. V rámci práce byly také studovány optické vlastnosti a struktura kvaternárních tenkých vrstev Ge-Sb-Se-Te připravených magnetronovým naprašováním.
Anotace v angličtině
This thesis is focused on study of amorphous thin films of ternary Ge-Sb-Se and Ga-Sb-Se systems fabricated by co-sputtering technique for their potential applications in the field of nonlinear optics. General quality by means of morphology and topography, linear and non-linear optical properties and local structure of fabricated films depending on the composition are discussed. The limitation of these materials may lie in their photosensitivity under the near-bandgap light irradiation. Therefore, this aspect of co-sputtered thin films was also studied. In the frame of the thesis, optical properties and structure of quaternary Ge-Sb-Se-Te thin films fabricated by RF sputtering as a potential alternative to ternary systems were also studied.
Klíčová slova
amorfní chalkogenidy, naprašování, amorfní tenké vrstvy, optické vlastnosti, struktura
Práce se zabývá studiem tenkých amorfních vrstev ternárních systémů Ge-Sb-Se a Ga-Sb-Se připravených technikou magnetronového naprašování za simultánního použití několika terčů, pro jejich potenciální aplikace v nelineární optice. Je diskutována obecná kvalita ve smyslu morfologie a topografie, lineární a nelineární optické vlastnosti a struktura připravených vrstev v závislosti na složení. Omezení těchto materiálů může spočívat v jejich citlivosti na světlo blízké energii jejich optické šířce zakázaného pásu energií. Byl proto studován i tento aspekt. V rámci práce byly také studovány optické vlastnosti a struktura kvaternárních tenkých vrstev Ge-Sb-Se-Te připravených magnetronovým naprašováním.
Anotace v angličtině
This thesis is focused on study of amorphous thin films of ternary Ge-Sb-Se and Ga-Sb-Se systems fabricated by co-sputtering technique for their potential applications in the field of nonlinear optics. General quality by means of morphology and topography, linear and non-linear optical properties and local structure of fabricated films depending on the composition are discussed. The limitation of these materials may lie in their photosensitivity under the near-bandgap light irradiation. Therefore, this aspect of co-sputtered thin films was also studied. In the frame of the thesis, optical properties and structure of quaternary Ge-Sb-Se-Te thin films fabricated by RF sputtering as a potential alternative to ternary systems were also studied.
Klíčová slova
amorfní chalkogenidy, naprašování, amorfní tenké vrstvy, optické vlastnosti, struktura