Disertační práce je zaměřena na charakterizaci vlastností chalkogenidových skel a tenkých vrstev, které jsou obecně studovány pro využití především v oblasti optiky, elektroniky a mikroelektroniky. Z připravených objemových skel systémů Ge30Se70-xAsx, Ge30Se70-xInx, Ge30Se70-xTex byly metodou termického napařování připraveny tenké filmy, které byly charakterizovány a studovány.
K charakterizaci získaných objemových vzorků i tenkých filmů byla použita řada metod. Pomocí rentgenové difrakční analýzy byla zjišťována nepřítomnost krystalické fáze. Složení objemových vzorků skel a tenkých filmů bylo kontrolováno pomocí energiově disperzní analýzy. Struktura připravených objemových skel a tenkých filmů byla popsána a rovněž pomocí Ramanovy spektroskopie. U připravených chalkogenidových skel byla určena teplota skelné transformace, která souvisí s rigiditou systému. Důležitými parametry byly i zjištěné optické vlastností tenkých filmů.
Rovněž bylo studováno stárnutí tenkých filmů za různých experimentálních podmínek. Jako modelový tenkých film byl připraven a studován tenký film o složení (GeS2)0.8(Sb2S3)0.2. Toto složení bylo vybráno s ohledem na jeho snadnou přípravu a aplikovatelnost. Důvodem tohoto studia byl fakt, že stárnutí tenkých filmů rozhodujícím způsobem ovlivňuje jejich aplikovatelnost.
Zjištěná experimentální data jsou diskutována pomocí publikovaných výsledků.
Anotace v angličtině
The dissertation is focused on the characterization of the properties of chalcogenide glasses and thin films, which are generally studied for their use mainly in the field of optics, electronics, and microelectronics. Thin films were prepared from the prepared bulk glasses with the composition of glassy systems: Ge30Se70-xAsx, Ge30Se70-xInx, Ge30Se70-xTex by the thermal evaporation method Samples were characterized, and their properties were studied.
Several methods were used to characterize the obtained bulk samples and thin films. The absence of a crystalline phase was determined by X-ray diffraction analysis. The composition of bulk samples of glasses and thin films was checked using energy dispersive analysis. The structure of the prepared bulk glasses and thin films was described using mainly Raman spectroscopy. For the prepared chalcogenide glasses, the glass transformation temperature was determined, which is related to the rigidity of the system. The determined optical properties of thin films were also important parameters.
Aging of thin films under different experimental conditions was also studied. A thin film with the composition (GeS2)0.8(Sb2S3)0.2 was prepared and studied as a model thin film. This composition was chosen because of its easy preparation and applicability. The reason for this study was the fact that the aging of thin films decisively affects their applicability.
The obtained data found are discussed using the published results.
Disertační práce je zaměřena na charakterizaci vlastností chalkogenidových skel a tenkých vrstev, které jsou obecně studovány pro využití především v oblasti optiky, elektroniky a mikroelektroniky. Z připravených objemových skel systémů Ge30Se70-xAsx, Ge30Se70-xInx, Ge30Se70-xTex byly metodou termického napařování připraveny tenké filmy, které byly charakterizovány a studovány.
K charakterizaci získaných objemových vzorků i tenkých filmů byla použita řada metod. Pomocí rentgenové difrakční analýzy byla zjišťována nepřítomnost krystalické fáze. Složení objemových vzorků skel a tenkých filmů bylo kontrolováno pomocí energiově disperzní analýzy. Struktura připravených objemových skel a tenkých filmů byla popsána a rovněž pomocí Ramanovy spektroskopie. U připravených chalkogenidových skel byla určena teplota skelné transformace, která souvisí s rigiditou systému. Důležitými parametry byly i zjištěné optické vlastností tenkých filmů.
Rovněž bylo studováno stárnutí tenkých filmů za různých experimentálních podmínek. Jako modelový tenkých film byl připraven a studován tenký film o složení (GeS2)0.8(Sb2S3)0.2. Toto složení bylo vybráno s ohledem na jeho snadnou přípravu a aplikovatelnost. Důvodem tohoto studia byl fakt, že stárnutí tenkých filmů rozhodujícím způsobem ovlivňuje jejich aplikovatelnost.
Zjištěná experimentální data jsou diskutována pomocí publikovaných výsledků.
Anotace v angličtině
The dissertation is focused on the characterization of the properties of chalcogenide glasses and thin films, which are generally studied for their use mainly in the field of optics, electronics, and microelectronics. Thin films were prepared from the prepared bulk glasses with the composition of glassy systems: Ge30Se70-xAsx, Ge30Se70-xInx, Ge30Se70-xTex by the thermal evaporation method Samples were characterized, and their properties were studied.
Several methods were used to characterize the obtained bulk samples and thin films. The absence of a crystalline phase was determined by X-ray diffraction analysis. The composition of bulk samples of glasses and thin films was checked using energy dispersive analysis. The structure of the prepared bulk glasses and thin films was described using mainly Raman spectroscopy. For the prepared chalcogenide glasses, the glass transformation temperature was determined, which is related to the rigidity of the system. The determined optical properties of thin films were also important parameters.
Aging of thin films under different experimental conditions was also studied. A thin film with the composition (GeS2)0.8(Sb2S3)0.2 was prepared and studied as a model thin film. This composition was chosen because of its easy preparation and applicability. The reason for this study was the fact that the aging of thin films decisively affects their applicability.
The obtained data found are discussed using the published results.